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第27章 国际欧亚科学院的邀请模拟光刻机研制成功(第3页)

“没问题,他确实符合要求。”

比劳心中很无语,和夏国人说话真费劲。

你想把叶非加入审核名单,就和我直接说啊!

为什么要绕那么大弯子呢!

夏国,魔都,夏芯国际!

所有人都穿着防护服,光刻胶小组的两位组长站在叶非身旁,将光刻胶交给叶非,道:“院长,您看这光刻胶如何?”

光刻胶装在一个塑料瓶中,叶非打开瓶盖,倒出一点光刻胶在纸上,然后拿起来看。

光刻胶是一种黑色浓稠液体,好似沥青一样。

叶非拿出紫外线光束仪照射向光刻胶。

被紫外线光束仪照射的光刻胶部分,开始发生溶解反应。

光刻胶的浓度开始有些变稀,紫外线透过光刻胶,向前方照去。

叶非微微点头,从肉眼看,光刻胶质量还不错。

叶非对身旁的研究员道:“拿去测试下。”

研究员道:“好的。”

说完,研究员便将光刻胶拿去测试。

很快,测试结果便出来。

【前烘:100C90s以上(DHP)

曝光:G线步进式曝光机接触式曝光系统

显影:AZ300MIF显影液23C60~300s

清洗:去离子水

后烘:120C60s以上

剥离:AZ剥离液及或氧等离子体灰化】

叶非看完数据后,很是满意的点头,笑道:“不错!”

叶非看向两位光刻胶小组的正副组长道:“辛苦你们了。”

两人笑道:“这多亏院长您和国家众多研究人员的帮助。”

“如果没有国家众多研究人员多年对光刻胶的研究资料,还有您提供的数学公式,我们也无法研发出光刻胶。”

叶非笑道:“我虽然提供一些帮助,但研制出光刻胶的主要是你们。”

聊了片刻后,叶非继续投入到研究中。

此时已经到了十月份,光刻机研究刚好有一年时间。

这一年时间,他们攻克了光刻胶、接触式和非接触式技术、曝光系统、调节系统和EDA软件。

叶非心道:“只剩下随机误差控制了,只要把随机误差控制研究出来,光刻机便研究出来了。”

叶非一开始的思路是正确的。

利用国家现有的知识,用于碳基芯片光刻机上。

再加上他的数学知识。

所以,研究光刻机的效率非常的高。

这时,助理站在实验室门口,叫道:“院长!”

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